产品说明
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全自动多功能 XRF（膜厚 + 成分 + RoHS + 自动化检测设备）
全自动多功能 XRF 是一款集膜厚测量、成分分析、RoHS 检测与自动化平台于一体的高精度检测设备，适用于电子、半导体、新能源、贵金属加工等行业。设备具备多焦点光路、纳米级薄膜检测能力、AI 自动寻点与大行程自动平台，可实现无人值守检测，是高端检测场景的核心设备。
产品特点
**1. 一体化检测：膜厚 + 成分 + RoHS + 自动化**
支持涂镀层厚度测量、材料成分分析、RoHS 有害元素检测，并可自动完成批量样品检测。
**2. 多焦点光路系统，适合纳米级薄膜**
采用多焦点增强型光路，可检测 Au、Pd、Ni 等纳米级薄膜结构，适用于晶圆前道与贵金属微镀层。
**3. 自动化平台（最大 600×600 mm）**
大行程自动平台可一次性完成多个样品或多个点位的检测任务，适合大尺寸样品与密集点位。
**4. AI 影像识别自动寻点**
具备智能图像识别能力，可自动定位检测点，减少人工误差，提高检测效率。
**5. 微米级定位精度**
自动平台具备微米级移动精度，可精准定位微小样品或复杂结构。
典型应用
- 晶圆 Au/Ni/Cu 薄膜检测
- 新能源电池材料镀层分析
- 贵金属镀层（Au/Pd/Rh）厚度与成分检测
- 多层复杂镀层结构检测
- RoHS 2.0 有害元素筛查
- 批量样品无人值守检测
- 大尺寸板材多点位检测
选型建议
- 若需要膜厚 + 成分 + RoHS + 自动化 → 推荐全自动多功能 XRF
- 若需要纳米级薄膜检测 → 推荐此型号
- 若样品数量多或点位密集 → 自动化型号最适合
- 若需要微区检测 → 可选择高通量或毛细聚焦型号
- 若需要轻元素检测 → 可选择真空型设备
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